シリコンキャリア（ＳＣ）とは、搬送用のシリコン基板（6~12インチ）にくぼみと押さえ機構を加工し、小口径の化合物半導体ウエハ等を固定する商品ですが、各半導体装置別に以下のラインナップを用意しております。

　ご質問等は、「問合わせ」からお願い致します。

■　品名一覧

　（１）露光用研削シリコンキャリア

　（２）イオン注入用シリコンキャリア

　（３）エッチング・デポ用シリコンキャリア

　（４）アニール用シリコンキャリア

　（５）カスタムSC

■　標準納期：　1週間（製品仕様書ご確認後）

■　標準価格（仕様、数量による）：　30万円/枚(8インチ）～、45万円/枚（１２インチ）～

■　カスタム対応：　標準ＳＣ以外も個別対応いたします。

　　　　　　　　　info@carrier-integ.comにご連絡ください。

■　発注方法：

　　　以下のＳＣ作成指示書にご記入頂き、弊社に送付ください。
　　納入仕様書（外形図、製品仕様書、検査仕様書、梱包仕様書）/見積書を返送いたしますので、

　　承認頂いた後、製造を開始いたします。

　　　（１）搬送用シリコン基板サイズ（５，６，８インチ、ＳＥＭＩ規格）

　　　（２）切削量－Ｚ軸方向（お客様のご指定値、um単位）

　　　（３）切削量－XY軸方向（１，２，３，４，５インチ○、角、その他）

　　　（４）～その他のパラメータ指定 

■ＳＣ作成指示書：